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TESCAN Ultra-High Resolution jetzt mit Triglav™ Elektronensäule

Triglav™ UHR-Säule

 
TESCANs neue Triglav™-Säule ist eine extrem leistungsfähige elektronenoptische Säule, die Höchstauflösung auch bei bei niedrigster Auftreffenergie erzeugt. Ausgestattet mit neuentwickelter Elektronenoptik und durchdachtem Detektorsystem, bietet die Triglav™ Elektronensäule dem Anwender maximale Oberflächenempfindlichkeit und ausgezeichneten topographischen Kontrast auch bei hochempfindlichen oder nichtleitenden Proben.
 

TriLens™: Elektronenoptik, basierend auf drei Objektivlinsen, mit denen mehrere Bild- und Arbeitsmodi möglich sind

Einzigartige Kombination aus UH-Resolution-Linse und Crossover-freiem Strahlengang für ausgezeichnete Höchstauflösung: 0,7 nm @ 15 kev / 1 nm @ 1 keV (BDM)

TriSE™: Drei SE Detektoren, um selbst die feinsten Oberflächendetails aufzunehmen (optional bei MAIA, GAIA und XEIA)

TriBE™: Drei BSE Detektoren für besten Kontrast unter verschiedenen Abnahmewinkeln (optional bei MAIA, Standard bei GAIA und XEIA)

EquiPower™: System zur Wärmeableitung und Temperaturstabilisierung für beste Säulen- bzw. Strahlstabilität, ideal bei zeitintensiven Anwendungen wie FIB-REM Tomographie
 

In-Beam SE = 0,7 nm @ 15 keV

SE (BDM) = 1,0 nm @ 1 keV

Modelle mit der neuen Triglav™ UHR-Säule

TESCAN MAIA

 

TriLens™

Drei Linsen, verschiedene Abbildungsmodi

Das TriLens™ Elektronenoptiksystem basiert auf drei Objektivlinsen: einer UH-Resolution-Linse (60° Immersionslinse), einer Analytik-Linse und einer intermediären Linse (IML). Aus deren Kombination entstehen mehrere Arbeitsmodi.
 

UH-RESOLUTION Modus
Der UH-Resolution Modus wird erzeugt durch die einzigartige Kombination aus Immersions-Objektivlinse und Crossover-freiem Modus für höchstauflösende Bilderzeugung bei niedriger Auftreffenergie. Die Vermeidung jeglichen Crossovers in der Säule reduziert den Boersch-Effekt und optimiert zudem den Elektronenstrahl. So sind Auflösungen besser 1 nm @ 1 keV möglich. Der UHR Modus ist ideal zur Fehleranalyse bei Halbleitern, der Forschung an und Charakterisierung von Nanomaterialien, nichtleitenden und empfindlichen Proben geeignet.

ANALYSIS Modus
Dieser Modus wird möglich durch die Analytik-Linse. Er ist bestens geeignet für analytische Verfahren wie EDX und EBSD, wie auch für gleichzeitige REM-Aufnahmen während FIB-Betrieb, wie beispielsweise beim Cross-Sectioning und der FIB-REM-Tomographie. Mit dieser Linse sind auch hochqualitative Aufnahmen magnetischer Proben möglich.

DEPTH Modus
Die UH-Resolution-Linse kann in Kombination mit der intermediären Linse (IML) genutzt werden. Dies ermöglicht die Erhöhung des Strahlstroms, bei sehr hoher Auflösung und ermöglicht so eine hohe Tiefenschärfe. So werden die analytischen Fähigkeiten erhöht. Zudem ermöglicht es die Untersuchung empfindlicher Proben mit hoher Topographie.

OVERVIEW Modus
Die intermediäre Linse (IML) ermöglicht ein unverzerrtes, großes Sicht- und Bildfeld.
 

TriLens™ Elektronenoptik
a) Intermediäre Linse (IML)
b) Analytik-Linse
c) UH-Resolution-Linse
 

Goldpartikel auf Kohle,
aufgenommen bei 50 eV
mit SE (BDM) Detektor mit
UH-Resolution-Linse
 

TriSE™ + TriBE™

Ausgeklügelte Detektorsysteme
 
Die höchstauflösende Ultra-High Resolution Triglav™ Säule ist ausgestattet mit TriSE™ (optional) und TriBE™ (optional bei MAIA, Standard bei GAIA und XEIA) Detektorsystemen. Diese innovativen Detektorsysteme sind jeweils auf drei Detektoren aufgebaut, die sich teilweise in der Kammer, aber auch innerhalb der Elektronensäule befinden.
 

TriSE™ Detektorsystem
a) SE (BDM)
b) In-Beam SE
c) In-Chamber SE
 

TriBE™ Detektorsystem
a) In-Beam BSE
b) Mid-Angle BSE
c) In-Chamber BSE
 

TriSE™ einzigartiges Triple-SE Detektorsystem

In-Chamber SE für ausgezeichneten topographischen Kontrast

In-Beam SE für Höchstauflösung (UHR) und maximale Oberflächenempfindlichkeit

SE (BDM) für optimale Bildgewinnung im Beam Deceleration Modus (BDM).
 

TriBE™ einzigartiges Triple-BSE-Detektorsystem

In-Chamber BSE mit Weitwinkel-BSE-Detektion für hohen topographischen Kontrast und Materialkontrast, universell einsetzbar

Mid-Angle BSE mit BSE-Detektion unter mittlerem Winkel für guten Materialkontrast und topographischen Kontrast bei sehr kleinem Arbeitsabstand

In-Beam BSE mit axialer, spitzwinkliger BSE-Detektion für optimalen Materialkontrast bei kleinen Arbeitsabständen
 
 

Beam Deceleration Modus

 
Ist der Beam Deceleration Modus (BDM) aktiviert, kann das Detektorsystem zwischen SE- und BSE-Signal differenzieren und dadurch simultane Untersuchungen in beiden Modi machen. Der BDM Modus bietet beste Auflösung bei niedrigster Auftreffenergie für maximale Oberflächenempfindlichkeit und ausgezeichneten topographischen und elementaren Kontrast.
 

Silizium Grid, aufgenommen im BDM bei 1 keV mit
SE (BDM) Detektor
 

Das Detektorsystem erlaubt im Beam Deceleration Modus (BDM) die simultane Aufnahme von SE und BSE-Signalen.
 
a) SE (BDM) Detektor.
b) BSE (BDM) Detektor
c) Probe unter Vorspannung
 

Silizium Grid, aufgenommen im BDM bei 1 keV mit
BSE (BDM) Detektor
 

 

FeldemissionskathodenBeam Deceleration Technology (BDT)Triglav™ UHR-ElektronensäuleIn-Beam Detektoren (SE/BSE)

 

 

 

 

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