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TESCAN S8000G UHR FIB-REM-System

Feldfreies
Ultra-High Resolution

TESCAN S8000G UHR FIB-REM

 
Ga-FIB-REM mit feldfreier Ultrahochauflösung

Neue FIB-REM-Generation zur Erfüllung immer höherer Standards bei der Probenpräparation
 
TESCAN stellt mit dem S8000G das erste Mitglied einer neuen Mikroskopfamilie vor. Das S8000G besitzt alle Fähigkeiten, um heutigen Ansprüchen in Forschung und Industrie in vollem Umfang gerecht zu werden. Es verfügt über eine ausgezeichnete Abbildungsqualität mit hervorragendem Kontrast, was dieses System ideal für die Nanocharakterisierung oder für komplexe, präzise Nano-Engineering-Aufgaben macht.

TESCAN S8000G UHR FIB-REM 
Ausgestattet mit einer neuentwickelten REM-Säule, liefert das S8000G feldfreie Ultra-High-Resolution-Abbildung und ermöglicht die Analyse magnetscher Proben oder die REM-Überwachung  des  FIB-Arbeitsablaufs.

Durch die Synergie mit der neuen FIB-Säule mit hochmoderner Ionenoptik und das Gas-Injection-System gehört das S8000G zur Spitzenklasse bei Probenpräparation und Nano-Patterning.
 
Die modulare und Workflow-orientierte Software maximiert die Kontrolle bei allen Applikationen, ohne dabei Abstriche bei der Komplexität der Technologie oder der Benutzerfreundlichkeit des Systems machen zu müssen.
 
Dadurch ist das TESCAN S8000G bestens für High-End-Applikationen im FIB-REM-Bereich geeignet. Es ist die optimale analytische Plattform für Anwender, die täglich nach besserem Verstehen und Durchbrüchen in Wissenschaft und Technologie streben.
 

Neuartige Axial- und Multidetektoren mit winkelselektiven Eigenschaften und Energiefilter ergeben optimalen Kontrast und höchste Abbildungsqualität

Ideal für die Abbildung magnetischer, nichtleitender, unbehandelter und strahlempfindlicher Proben

Beschleunigtes Nano-Machining und optimiertes Nano-Probing durch feldfreie Elektronenoptik

Ideal für die Präparation ultradünner TEM-Lamellen und für die In-situ-STEM-Analyse

Einsetzbar für die Nanocharakterisierung
 
 

 
Polystyrenkugeln, aufgenommen bei 500 eV, Kippwinkel 55°.

 
Cross-Section, 50 µm breit, 17,2 µm tief, hergestellt mit einem Ionenstrahlstrom von 85 nA @ 30 keV innerhalb 17 Minuten.

 
Oberfläche eines Magnetkopfs,
aufgenommen bei 2 keV.

 
Filigrane Lithographielackschicht,
aufgenommen bei 500 eV.

 
 
Die EM-Elektronensäule

Vielseitiges System für unzählige Applikationen:
Die BrightBeam™ REM-Elektronensäule erzeugt feldfreie Ultra-High-Resolution-Abbildung (0,9 nm @ 15 keV / 1,4 nm @ 1 keV) und bietet hohe Variabilität bei der Abbildung und Analyse von Proben.

Maximale Erkenntnisse über Proben gewinnen:
Ausgezeichneter Bildkontrast und Höchstauflösung sind essentiell für Details im Nanobereich, die Bestimmung und Analyse von Nanostrukturen, -partikeln, -materialien und die Fehleranalyse mikroelektronischer Bauteile.

Verbesserte Oberfächenempfindlichkeit:
Das Detektionssystem mit winkelselektiven Eigenschaften und Energiefilter gibt vollkommene Kontrolle über die Oberflächenempfindlichkeit. Durch unterschiedlichen Kontrast werden neue Erkenntnisse gewonnen.

Maximaler Schutz für empfindliche Proben:
Hervorragende Leistung bei niedriger Strahlenergie ist ideal für die Abbildung nichtleitender und unbehandelter Proben. Varianten mit variablem Druck sind optional erhältlich.

Beste Voraussetzungen für die Mikroanalyse:
Hohe Elektronenstrahlströme bis 400 nA sind vorteilhaft für mikroanalytische Techniken wie CL, EDX, WDX und EBSD.

Hervorragende, verlässliche Preformance bei langwierigen Applikationen:
Die EquiPower™ Linsentechnologie sichert durch konstante Wärmeableitung und Temperaturstabilisierung beste Säulen-, bzw. Strahlstabilität, auch bei zeitintensiven Applikationen, wie FIB-Tomographie oder Röntgenmikroanalyse.

 
Die FIB-Ionensäule

Spitzenklasse bei der Probenpräparation:
Die neuartige Orage™ FIB-Säule mit ihrer wegweisenden Ionenoptik erreicht Höchstauflösung über den gesamten Bereich der Stahlenergie sowie exzellente Performance bei niedriger Energie für die schadensfreie Präparation ultradünner TEM-Proben.

Beschleunigtes FIB-Nano-Machining:
Mit einem Ionenstrahlstrom bis 100 nA ist es möglich, Cross-Sectioning- und TEM-Lamellen-Lift-Out-Prozesse in der Hälfte der Zeit durchzuführen.

Schnelle FIB-Nano-Tomographie:
Die ausgereifte Software ermöglicht extrem einfache und schnelle dreidimensionale Probenrekonstruktion. Dabei werden dem Anwender einzigartige ultrastrukturelle Informationen über die Probe geliefert.

 
Die Software

Erhöhung von Produktivität und Durchsatz:
Die einfach erlernbare, Workflow-orientierte Software maximiert die Kontrolle bei allen Applikationen und minimiert die Zeit bis zur Erreichung des angestrebten Resultats.
 
 

TESCAN S8000G UHR FIB-REM

 

Beispielbild
FIB-REM / Focused Ion Beam MikroskopFeldemissions-Kathode, feldreie UltrahochauflösungFeldfrei UltrahochauflösungOrage™ Ionensäule mit Ga-QuelleGM-KammerHigh Vac / Low Vac

 

 

 

 

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