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TESCAN LYRA GM FIB-REM

TESCAN LYRA FIB-REM

Focused Ion Beam Mikroskop

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LYRA mit GM Kammer

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FIB-REM / Focused Ion Beam MikroskopFeldemissions-KathodeIonenquellenXM / GM KammerHigh Vac / Low Vac

 

 

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TESCAN FERA XM FIB-REM

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XEIA mit XM Kammer

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FIB-REM / Focused Ion Beam MikroskopFeldemissions-KathodeTriglav™ UHR-Elektronensäulei-FIB Ion Gun mit Xenon Plasma IonenquelleXM / GM KammerHigh Vac / Low Vac

 

Ion Gun Systeme / Ionenquellen

Bei den TESCAN FIB-REM kommen die Focused Ion Gun (FIB) Systeme - auch Ionenquellen genannt - vom französischen Hersteller Orsay Physics, der sich 2013 mit TESCAN zur TESCAN ORSAY HOLDING zusammenschloss.
 
Beim TESCAN LYRA FE FIB-REM hat der Kunde die Auswahl zwischen zwei unterschiedlichen Ga Ionenquellen.
 
Die TESCAN FERA war das erste Xenon Plasmaquellen (i-FIB) PFIB-REM auf dem Markt. Die TESCAN FERA bietet (wie die neue XEIA) bis zu 50 fach höhere Abtragsraten als herkömmliche FIB Systeme mit Gallium Ionenquelle.
 
Die TESCAN GAIA kombiniert die Orsay Physics COBRA Ionenquelle mit der MAIA Ultra-High Resolution FE Elektronensäule.
 

Canon Ion Gun mit Ga IonenquelleCobra Ion Gun mit Ga Ionenquellei-FIB Ion Gun mit Xenon Plasma Ionenquelle

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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